特点：
1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品
3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像
4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
5. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
二次电子分辨率
1.0nm（加速电压15kV、WD＝4mm）
1.3nm（加速电压1kV、WD＝1.5mm）
加速电压
0.1～30kV
观测倍率
20～8000,000(底片输出)
60～2,000,000（显示器输出）
样品台
马达驱动
3轴马达
行程
X
0～50mm
Y
Z
360°
T
-5～70°
R
最大装载尺寸
100mm（最大）
探头
Lower
高立体感图像
Upper
高分辨SE、BSE图像
反污染措施
冷指
标配
物镜光阑
内置自清洁功能
电子枪
内置加热器
真空系统
离子泵
3台
分子泵
1台
机械泵
配件
真空转移盒
可在不暴露大气下实现样品转移观察功能
E-1045离子溅射仪
气压7-20Pa，样品最大直径60mm，最大高度20mm
冷冻干燥仪
叔丁醇置换，脱水置换时间≤10min
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